An Ultrathin Monolithic XY Nanopositioning Stage Constructed From a Single Sheet of Piezoelectric Material
|
نوع المصدر |
مقال
|
بيانات التأليف |
J. Fleming, Andrew (Author)
Kuan Yong, Yuen (Author)
|
بيانات الدورية المصدر |
العنوان:
IEEE / ASME Transactions on Mechatronics
|
|
رقم المجلد/ العدد: 2017/DEC V.22 N.6
رقم الإستدعاء: 621.05 ITM الموقع: Periodicals & References Hall - 2nd floor
|
الوصف المادي |
p 2611 - 2618
|
رأس الموضوع/ الواصفات |
Engineering
(39711)
|
|
|
المستخلص |
The paper describes an XY nanopositioning stage constructed from flexures and actuators machined into a single sheet of piezoelectric material....
المستخلص الكامل
|
| المزيد من المقالات من
الدورية:
IEEE / ASME Transactions on Mechatronics
(1944)
العدد: 2017/DEC V.22 N.6
|
|
|